ダイレクト・イメージャ EDI-500

導入・運用コストを大幅に軽減
少量多品種生産に最適なダイレクト・イメージャ(DIシステム)

特長

ダイレクト・イメージャ EDI-500
① UVランプを採用し、汎用のフォトレジストに対応
② 従来の生産ラインとの高い整合性を実現
③ 独自開発のDMD投影露光エンジンによる安定露光
④ 省エネタイプのECOシステム
⑤ リアルタイムスケール機能によるアライメント精度向上
⑥ メンテナンス性に優れたシステム
⑦ 低ランニング・コストを実現

EDI-500を支える技術

EDI-500を支える技術
省スペースなECOシステム
 
光源を露光ヘッド内に収納し、ランプハウスなどが一切ないコンパクト設計な装置です。設置スペースは、わずか3㎡以下を実現しました。
なお、露光時の消費電力は1KVA以下を実現した環境対応のECOシステムです。
省スペースなECOシステム 高速RIP
高速RIP
 
光ベクターフォEDI-2ーマットを高速に、かつ高精度にラスター化します。そのラスター化機能は、大容量データや複雑な合成データであっても露光プロセスを遅延させることなくラスター化します。
DMD投影露光エンジン
DMD投影露光エンジン
 
独自開発のDMD露光ヘッドは、約80万個の微小ミラーを独立にコントロールし、安定露光が行えます。
なお、基板のうねりによる高さ変化や、微妙な凹凸に対応するオートフォーカス機能を露光ヘッドに標準搭載し、露光面の高低に追従し、ピントずれが発生しません。
MPSソフトウェア
MPSソフトウェア
 
編集されたCAMデータをQマネージャから受け取り、ジョブを生成し露光を行います。
アライメント情報、パネルサイズ、板厚、表裏ペアー設定などの露光条件の設定や露光順番が、タッチスクリーンから簡単操作で行えます。