効率の良い測定が実現
ガーバーデータから測定マスターを作成、アートワークフィルムやプリント基板を測長。測長データはExcelデータで出力可能。オートフォーカス機能と図形自動認識により効率の良い測定ができる2次元自動測長装置です。

主な特長

アートワークフィルムやプリント基板の測長

LED反射照明、透過照明、同軸落射を標準装備。アートワークフィルムやプリント基板、
メタルマスクの測長ができます。

ガーバーデータをマスターとした自動計測

ガーバデータから測長プログラム作成するため基板完成と同時に測長が開始できます。

オートフォーカス機能と形状自動認識

エッチングラインのトップ/ボトムを自動認識してパターン幅を測定します。エッジセンサーにより測定者誤差もありません。

測定結果の自動合否判定

設計値と実測値を比較して自動で合否判定を行います。またユーザー指定のレポートも簡単に作成できます。

仕様

型式MS-400MS-600MS-800
測定範囲370×270mm600×500mm800×600mm
搭載可能範囲450×400mm800×800mm1000×1000mm
精度校正範囲370×270mm600×500mm750×600mm
画像検出高画質カラーカメラ
ズーム5段階オートズーム
照明反射照明/透過照明/同軸落射
センサー光学式リニアスケール
標準環境温度:20℃±5℃
湿度:30%〜70%RH
電源100V
本体寸法
(W×D×H)
74×78×162cm116×113×138cm136×123×138cm
重量300Kg600Kg800Kg