大型フォトマスク対応の
平面型ガラスマスク用プロッター
大型フォトマスク(32×28インチ)に対応した平面型ガラスマスク用プロッター。画像処理プロセッサーとRIPソフトウェアにより高速データ処理・大容量データ処理が可能。

主な特長

高精細・高品質

最新のDLP技術(Digital Light Processing)により、微細パターンを高画質に短時間で描画。

最小ライン&スペース・マルチ感光材料対応

ライン&スペース:9μmを実現し、525nm/405nmの2波長を搭載した描画エンジンにより
マルチ感光材料に対応。

コストパフォーマンス・省スペース

導入コストとランニングコストを大幅に低減し、設置も省スペースで従来製品の約半分を
実現。